玻璃基板
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玻璃基板
玻璃基板是TFT-LCD的主要製程原料,就是俗稱的母玻璃或素玻璃,形同大尺寸的矽晶圓,是一種高精密透明的電子零件。玻璃在TFT-LCD產業中扮演的角色好比是半導體產業中的晶圓,因此TFT-LCD產業對玻璃基板表面精度之要求進乎完美。
TFT-LCD 製程是分別利用兩塊無鹼玻璃基板,於無鹼玻璃基板表面構裝彩色濾色片與 IC 電路。玻璃基板表面經過乾式蝕刻,將紅、藍、綠三原色與黑色以微細的結構建置於玻璃表面,成為彩色濾色片。IC 驅動電路則利用半導體製程,將CMOS電路建置於玻璃表面。基板玻璃之功能係做為彩色濾色片與IC驅動電路之承載材料,類似半導體製程中的矽晶圓。TFT-LCD與半導體製程同樣需要真空蒸鍍與蝕刻,所以基板玻璃也與矽晶圓相似,必須要能忍受強酸強鹼之腐蝕、高溫的製程環境,並且必須具備比矽晶圓更精密的表面平整度與平面起伏度。
應用在TFT-LCD上的無鹼玻璃市場處於寡佔狀態,由四大廠瓜分:Corning、日本旭硝子、日本電氣硝子(NEG)及日本板硝子,其市場佔有率總合超過90%。
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